上海沪港建设咨询有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2022-12-06在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:复旦大学单晶衬底生长系统采购资金到位或资金来源落实情况:已到位已落实项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件2、招标内容招标项目编号:2000-224HG2206021招标项目名称:复旦大学单晶衬底生长系统采购项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 单晶衬底生长系统 1 3、设备要求和技术规格
3.1 工作条件
1）工作时间：连续工作（持续开机工作）；
2）工作温度：15～28℃；
3）环境湿度：≤80%（或更优）；
3.2 技术参数
4）★实现反应管内温度20～600℃可调（或更宽）；
5）温度稳定性：450度时温度波动小于±0.5℃（波动或更优）；
6）★恒温区长度大于400mm，恒温区温差≤±0.25℃；
7）拉舟位移重复定位精度：±0.1mm（或更优于），拉舟有效行程大于等于280mm；
8）★无负载室温真空值优于：1E-5Torr（漏率小于等于5E-9Atm.cc/sec，管路50PSI保压测试无氢气泄漏）；
9）推舟系统使用波纹管动密封；
10）温控系统能实现多段控温方式；
3.3 真空气路系统
11）一级泵：确保无加热环境下，带负载极限真空优于0.2Torr，使用高质量干泵；
12）二级泵：确保无加热环境下，无负载极限真空优于5×10-6Torr，使用高质量分子泵（耐汞要求，质保超过2年）；
13）辅助泵：具有安全可靠的除气功能；
14）真空测量：电离型高真空规和电容型低真空规测量，具有高精度测量功能，耐汞腐蚀；
15）真空管道：真空管道应按照超高真空标准处理，并具备耐腐蚀能力；
16）控制阀：使用高真空标准或者半导体级别的阀控系统；
17）进气需要有2路分路控制，氢气和氮气，保证无漏，流量可控制；
18）尾气系统具备有水冷回收系统，尾气净化系统，防回火系统；
19）故障报警功能：具备密封真空系统互锁功能，真空极值未达到不执行功能。具有氢气泄漏检测，泄漏停机功能，超压报警处理功能；
3.4 加热系统
1）采用直流可编程专用温度模块，控制4段加热器；
2）热电偶：4根1组Ⅰ级精度热电偶；
3）加热炉：采用4段温度控制系统；
4）故障报警功能：具有实现超温、断偶报警功能；
3.5 电控系统
1）控制面板：采用计算机控制系统；实现软件配合硬件操作，具有可编程及功能性
设置，权限性设置等功能；
2）各监控硬件参数能在面板上体现；
3）安装条件：
电压：交流380V±5%（或更优），三相五线制；
环境要求：
温度：0℃-35℃；
相对湿度：﹤65%（不结露）；洁净室净化等级：ISO7级（或更优）；
氢气：≥2kgf/cm2
压缩空气：≥4kgf/cm2
氮气：≥3kgf/cm2
冷却水温度：室温（或更宽）；
冷却水压力：≥2kgf/cm2。
3.6 计算机及温度记录软件
1）计算机配置：监控机要求按监控级别配置(硬盘不小于1T，使用监控级以上硬盘，或更优)；
2）具有实时监控温度、压力、密封状况、工艺进程，可自动化进行也可手动进行；
3）实现编写人性化界面控制软件，能够进行工艺进程记录曲线，具有实时报警系统；
4）系统具有数据导出分析软件及接口；3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:1）投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；2）投标人应为投标产品的制造商或其合法代理商，代理商投标应提供投标产品的制造商针对本项目的正式授权；3）投标人须在投标截止期之前在国家商务部认可的机电产品招标投标电子交易平台（以下简称机电产品交易平台，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册；4）本项目不允许联合体投标。是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以4、招标文件的获取招标文件领购开始时间:2022-12-06招标文件领购结束时间:2022-12-13是否在线售卖标书:否获取招标文件方式:现场领购招标文件领购地点：邮件获取招标文件售价:免费其他说明:有兴趣的潜在投标人应于2022年12月6日起至2022年12月13日16:00止（北京时间），通过邮箱946275915@qq.com，并电话联系招标代理机构（联系电话：13523116834）获取采购文件，逾期不再办理。电子招标文件售价零元。未按规定从招标机构处获取招标文件的潜在投标人将不得参加投标。5、投标文件的递交投标截止时间（开标时间）:2022-12-27 09:30投标文件送达地点:上海市徐汇区斜土路2358号（车行入口）斜土路2364号（人行入口）7楼会议室开标地点:上海市徐汇区斜土路2358号（车行入口）斜土路2364号（人行入口）7楼会议室6、投标人在投标前应在必联网（https://www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（https://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。7、联系方式招标人:复旦大学地址:上海市徐汇区斜土路2358号（车行入口）斜土路2364号（人行入口）联系人:卜老师联系方式:86-21-65645530招标代理机构:上海沪港建设咨询有限公司地址:上海市徐汇区斜土路2358号（车行入口）斜土路2364号（人行入口）联系人:苑玉新、苗启会联系方式:13523116834、176436210318、汇款方式:招标代理机构开户银行(人民币):招标代理机构开户银行(美元):账号(人民币):账号(美元):
